Реактивті магнетронды шашырату - бұл астарлардың кең гаммасына жұқа құрама қабатты үстіңгі қабат немесе көп қабатты жабынның аралық қабаты ретіндеқоюдың жетілген әдісі. "Жұқа" ауқымы бірнеше нанометрден бірнеше микрометрге дейін ауытқиды.
Магнетрон неліктен шашыратады?
Магнитронды шашырату - бұл түскен бөлшектер мен нысаналар арасындағы соқтығысу процесі … Магнетронды шашырату мақсатты катодтың бетіне магнит өрісін енгізу және шектеулерді пайдалану арқылы плазманың тығыздығын арттырады. шашырау жылдамдығын арттыру үшін зарядталған бөлшектердегі магнит өрісі.
Реактивті шашырау деген нені білдіреді?
Реактивті шашырау плазмаға реактивті газды (әдетте оттегі немесе азот) енгізу арқылы қосылыстарды тұндыруға мүмкіндік беретін процесс әдетте инертті газ арқылы түзіледі. аргон (ең таралған), ксенон немесе криптон.
Магнетронды шашыратқыш қалай жұмыс істейді?
Магнитронды шашырату – түзілетін және тұндырылатын материал – «нысана» бар кеңістікте шектелетін газ тәрізді плазманы қамтитын тұндыру технологиясы. … Бұл соқтығыстар электростатикалық серпілісті тудырады, ол иондауды тудыратын, шашыраңқы газ атомдарынан электрондарды «тазалайды».
РЖ неліктен таралады?
РФ немесе радиожиілік шашырату - бұл тозаңдату мақсатты материалдарының белгілі бір түрлерінде зарядтың жиналуын болдырмау үшін радиожиіліктерде вакуумдық ортадағы токтың электрлік потенциалын ауыстыруға қатысатын әдіс, бұл уақыт өте келе тамшыларды шашатын плазмаға доғаның пайда болуына әкелуі мүмкін …
